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第74章 视察晶圆厂3

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    汪正评对于公司现在所取得的成绩是很开心的,但他知道能有今天的成绩大部分是石莫的功劳,每每想起石莫对半导体技术的看视,重金投入,大笔的烧钱,他都有一点兴奋,有些庆幸他两年前没有拒绝石莫的邀请。

    汪正评作为一个技术宅,是很乐意见到半导体技术的快速进步的,身为这个行业内的一份子,对于石莫的疯狂投入技术研发的壮举,使他有一种狂热的感觉。

    石莫在2012实验室设立的半导体研究所和半导体设备研究所,为晶圆厂的建设提供了很大的帮助,没有他们的支持,别说第二座晶圆厂的成功兴建了,可以说首座晶圆厂的建设都可能会失败,想顺利开工投产很难。

    这两年,林本坚和马佐凭等人组织了3000多名技术精英,共同研制公司的高性能dram和处理器的制程设备等。其中一个目标是在近期突破64k dram和256k dram的实用化,远期在5-10年内,实现1m dram的实用化。

    现在林本坚他们正在进行超大规模集成电路(vlsi)的相关设备和材料的研发,有望在1985年完成“vlsi”项目,而此项技术在日国1980年时就已经研发成功。

    新世界公司从1980年开始重金投入研发,建立了完善的赶超日国dram产业和美国芯片设计产业的研发体系。

    新世界建立了3个研发中心,分别在香港、美国硅谷和日国东京。与之对应的是,研究费用成倍投入,1980年新世界在半导体领域的有效研发投入仅有8850万美金,到现在已经高达9亿美金。在专利技术方面,1980年新世界的专利技术应用有708项,目前已经上升到2336项。

    石莫一行人来到制造半导体产品最关键的,位于第三层的无尘室,设备维护工作则在二层的“subfab”层完成,这个工厂的生产重心是闪存颗粒,旁边的另一个工厂才是生产处理器。

    孟婉池是首次进入半导体行业,担任理事长助理一职。这次是第一次参观晶圆厂,看着地面并非是她平常所了解的硬地板,而是采用的一种类似于网状的设计,但是却非常的坚固,有些疑惑,于是好奇的向汪正评问道:“汪经理,请问地面为什么要做成这样呢?”

    汪正评微笑着答道:“厂内的地面全部打孔,是为了保证空气从上向下流通,将落尘的可能减到最小。并且房间里的空气,每5分钟就要完全的更换一次。”

    说完,汪正评还向孟婉池他们介绍了晶圆厂内走廊顶端的自动运输系统。

    晶圆厂是使用自动化材料处理系统的自动化工厂。为此,芯片在一种称为前端开启式晶圆传送盒(foup)的封闭容器中进行加工和运输。使用高架式芯片运输车(oht)系统将foup从一组设备运送到另一组。据汪正评说,在大型晶圆厂中,oht轨道可以长达7公里,可容纳上百辆汽车。

    此时自动化材料处理系统(amhs)正在以每小时8公里的速度将晶圆在各个制造环节间运输,24小时不停歇。

    生产在线的晶圆传送盒(foup)能携带6片3寸晶圆,在数公里的高空轨道上经过扩散、清洗、微影、蚀刻、抛光、薄膜与量测等数道程序。目前整个工厂员工总数约有1700人,以轮班制维持24小时生产线运作。

    生产线上可以看到有很多身穿无尘衣的技术人员在忙碌着,石莫还和一线作业员进行了短暂的交流,询问生产的相关情况。

    石莫最关心的是生产安全问题,半导体制造行业是一个高危行业,其中很多的化工用品都是致癌物,如苯、氢氟酸、硝酸等,原料上,二氧化硅并没有毒,但是粉末状的二氧化硅气溶胶就会引起尘肺和肺癌,就是有毒的。另外,半导体厂常用的掺杂原料多数有毒,比如硅烷、砷烷等,或是三甲基镓等等化合物。它们或直接是剧毒物质,或其与空气、水等反应后生成的物质有毒。

    三星就因为在管控半导体工厂环境方面存在疏忽,导致工人患癌致病。三星半导体成立十几年来,已经有约320名三星工厂受害者先后换上癌症(血癌,俗称白血病),其中,有118名血癌患者已经死亡。

    随后石莫在现场查看了安全生产应急设备的情况,并详细询问汪正评关于安全隐患预防的落实情况。

    石莫严肃的向汪正评警告道:“安全生产无小事,安全责任重于泰山。要牢固树立安全发展理念,始终把安全生产放在首要位置,不仅思想上要高度重视,措施上更要管用有力。公司要始终坚持“安全第一、预防为主、综合治理“的安全生产方针,加强隐患排查整治,坚决克服麻痹思想、侥幸心理,从严从实从细抓好各项工作,坚决防范遏制各类安全生产事故的发生。做到切实提高安全生产管理水平,推动公司安全发展、长远发展啊。”

    严格按安全生产的操作规程办事,生产效率可能会受到一些影响,但石莫认为他的公司要有社会责任感,公司必须要认真做好环境管控,有责任心。生命都来之不易,且行且珍惜吧!

    汪正评也知道半导体制造是一个高危行业,正色道:“好的,老板,我会严格要求员工执行规章、正确操作设备,我们现在的生产设备都有严格的防护措施,废弃物都有妥善的处理工艺。”

    石莫点点头,以后就看汪正评的执行力度了,石莫可不想出现安全事故后被员工游行示威,然后才被迫道歉赔偿整改等,那得多丢面子,多狼狈啊。

    石莫不放心的强调道:“半导体工厂必须建立健全安全生产责任体系,进一步压实责任、强化措施,抓细抓实安全生产工作,不断增强员工的幸福感和安全感。要深化认识,切实增强安全生产的责任感和紧迫感,从保障发展的高度抓好安全生产,全力防范安全生产事故发生。真正把安全第一,预防为主落到实处,不断开创安全生产工作的新局面。”

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